中文名 正硅酸甲酯

简  称 TMOS 

常用名 硅酸甲酯 | 四甲氧基硅烷 | 硅酸四甲酯

英文名 Tetramethoxysilane 

CAS  681-84-5

EINECS 211-656-4

含量 ≥99.5％（电子级）

化学式 C4H12O4Si  

分子量  152.22 

阳离子含量＜1ppm

总氯含量 ＜0.5ppm

沸  点 122℃

密  度 1.02 g/cm3

折光率 1.389

外  观 无色透明液体，有特殊气味

用  途

耐热、耐化学作用的涂料，有机硅溶剂和精密铸造用粘合剂；电子工业的绝缘材料、光学玻璃处理剂及凝结剂。

溶胶-凝胶反应中间体，无氯或者超低氯的耐热材料，半导体行业制作高品质研磨粒子，制备半导体CVD制程。