名称 六甲基二硅氮烷

别名 六甲基二硅胺烷 | 双（三甲基硅）胺烷

英文名 HEXAMETHYLDISILAZANE

简称 HMDS

分子式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3  

分子量 161.39

CAS号 999-97-3

含量≥99%

三甲基硅醇＜0.2% 

沸点 126℃ 

氯离子＜20 

水份＜200

密度 0.77 

折光率 1.408

外观 无色透明液体、略带胺味

用途

硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。该品是消减气相色谱载体表面吸附活的减尾剂。碱性硅烷化保护剂，无机填料处理剂