常用名 四甲基氢氧化铵

别  名 四甲基氢氧化铵|显影液TMAH

英文名 Tetramethylammonium hydroxide

CAS号 75-59-2 

EINECS 200-882-9

分子式 C4H13NO  

分子量 91.152

含量 25%水溶液

碳酸根离子＜100ppm

氯离子＜10ppm

沸点 110°C 

闪点 80°C

密度 0.866

性状 无色液体

用  途 

1.用作极谱分析试剂

2.用作计算机硅片面的光亮剂、触刻剂等

3.在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等